- 파티클 채취용 필름
- 파티클 채취용 필름
파티클 샘플링 재료
표면 입자 및 낙하 입자를 채취하여 JEDEX S-Series 입자계수기, Microscope, SEM/EDS, LIBs, FTIR 등 분석장비로 분석하기 위한 전문 샘플링 필름 및 재료입니다.
13+
제품 라인업
5μm
입자 제어
6
국제 특허
JEDEX 투명 필름 + 표면입자계수기 — 왜 다른가?
탁월한 검출 효율
JEDEX의 투명 필름과 JEDEX 표면입자계수기의 조합은 블랙 필름이나 화이트 멤브레인 기반 방식 대비 검출 효율이 월등히 높아, 파티클 리스크를 찾아내는 데 탁월합니다.
특허 등록된 구조적 혁신
특허 등록된 뛰어난 다층 구조는 입자 채취가 매우 편리하고, 별도의 캐리어가 필요 없어 비용이 획기적으로 낮습니다. 채취 후 바로 계수기에 로드하여 분석할 수 있습니다.
투명 필름 + 계수기 조합
검출 효율 극대화
3-Layer 특허 구조
캐리어 불필요 · 비용 절감
간편한 채취 → 즉시 계수
작업 시간 단축
특허: 한국 10-1582461 / 미국 9,964,480 / 일본 6337388 / EU 3211397 / 중국 ZL2015800572836 / 베트남 29661
주문 생산(Custom Manufacturing) 가능
규격·사이즈·점착력·Grid 패턴 등 고객 요구에 맞춘 맞춤 제작이 가능합니다.
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표면 입자 샘플링 필름
평평한 표면 위의 5~5000μm 입자를 채취하여 JEDEX 입자계수기, Microscope, SEM/EDS, LIBs, FTIR 등으로 분석하는 필름입니다.
용도
- JEDEX S-Series 입자계수기를 위한 입자 채취
- SEM/EDS 분석용 시료 채취
- 반도체 FAB PM 표면 검출
- Microscope 관찰 (저배율/고배율)
- LIBs, FTIR 분석장비 시료 채취
사양
| 분리력 | 표준강도 (5μm Controlled) |
| 입자 | 5μm |
| 샘플링 | 70×25mm (Grid 영역 5mm) |
| 사이즈 | 120×30mm (Handle 15mm + Cover 25mm) |
| 레이어 | 3 (Peel Off for Sampling / Film / Peel Off Cover) |
| Grid | Orange Grid, 1000μm |
| Handle | Yellow (니트릴 글러브 호환) |
용도
- JEDEX S-Series 입자계수기를 위한 입자 채취
- ASML 스테퍼 등 초고청정 요구 장치 PM 샘플링
- 점착제 사용 불가 환경의 표면 입자 채취
- SEM/EDS 분석용 초고청정 시료 채취
- 반도체 FAB 초고청정 공정 표면 검출
사양
| 입자제어 | 1μm Controlled |
| 채취방식 | 무점착 — 필름 탄성 이용 |
| 청정도 | 초고청정 (Ultra-Clean) |
| 샘플링 | 70×25mm (Grid 영역 5mm) |
| 사이즈 | 120×30mm (Handle 15mm + Cover 25mm) |
| 레이어 | 3 Layers |
| Grid | Grid, 1000μm |
낙하 입자 샘플링
챔버, 오븐, 플라즈마 등 밀폐 공간에서 낙하하는 입자를 수집하기 위한 글라스·실리콘 웨이퍼입니다.
용도
- JEDEX S-Series 입자계수기를 위한 입자 채취
- 챔버/고온/플라즈마 환경 입자 수집
- 실제 공정 환경 시뮬레이션
