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  • Applications 반도체산업 FAB 공정용 장치/부품의 청정도
  • ParticlePro M3000 반도체 제조장치용 부품 파티클 검사, 청정도 평가

FAB 공정용 장치/부품의 청정도

관리 하시고자 하는 입자의 크기 와 부품의 종류에 따라 선택하실 수 있습니다. 

S 시리즈 (SA, SPro 등) 는 입자채취용 필름(스트립)을 이용하여 부품 표면의 입자를 채취하여 계수하며 1um 이상의

대형 이물을 검출합니다. 

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