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크리닝/입자제거 장치(마이크로,스마트)

크리닝/입자제거 장치(마이크로,스마트)

Symm 시리즈 는 새로운 기존의 크리닝 방식의 문제를 제거한 새로운 개념의 크리닝 방식 입니다. (Jedex의특허 )

오래된 개념의 개스젯, 에어건, 진공청소기의 문제점 들
1. 종래의 Gas Jet 방식 -> 입자를 주변에 오염시킵니다.
그동안 사용되어져 오고 있는 에어젯, 에어건이 크린룸에서 사용되면 주변에 입자를 확산 시켜 새로운 오염을 유발 합니다.

2.종래의 진공청소기-->작은입자를 제거하지 못합니다.;
기존의 진공 청소기는 크리닝시 주변에 입자를 확산시키지 않지만 작은 입자를 제거하지 못합니다.


Symm 시리즈는 이러한 문제를 개선하기 위해 제덱스의 

오염제어연구소의 수년간의 연구결과로 개발되었습니다. (특허 )
1. 크리닝 중 입자 확산 최소화 하는 가스젯

2. 크리닝 품질 확인 과 동시에 크리닝




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