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파티클 채취용 재료/필름들
Adhesive Replacement Substrate.

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    1. SEMI E195-0925 - Test Method Using Adhesive Replacement Substrates to Assess Particulate Surface Contamination on Critical Chamber Components
JEDEX — 파티클 샘플링 재료JEDEX|Materials견적 문의파티클 샘플링 재료표면 입자 및 낙하 입자를 채취하여 JEDEX S-Series 입자계수기, Microscope, SEM/EDS, LIBs, FTIR 등 분석장비로 분석하기 위한 전문 샘플링 필름 및 재료입니다.

13+
제품 라인업
5μm
입자 제어
6
국제 특허 JEDEX 투명 필름 + 표면입자계수기 — 왜 다른가?탁월한 검출 효율JEDEX의 투명 필름과 JEDEX 표면입자계수기의 조합은 블랙 필름이나 화이트 멤브레인 기반 방식 대비 검출 효율이 월등히 높아, 파티클 리스크를 찾아내는 데 탁월합니다.
특허 등록된 구조적 혁신특허 등록된 뛰어난 다층 구조는 입자 채취가 매우 편리하고, 별도의 캐리어가 필요 없어 비용이 획기적으로 낮습니다. 채취 후 바로 계수기에 로드하여 분석할 수 있습니다.

투명 필름 + 계수기 조합
검출 효율 극대화
3-Layer 특허 구조
캐리어 불필요 · 비용 절감
간편한 채취 → 즉시 계수
작업 시간 단축특허: 한국 10-1582461 / 미국 9,964,480 / 일본 6337388 / EU 3211397 / 중국 ZL2015800572836 / 베트남 29661
주문 생산(Custom Manufacturing) 가능
규격·사이즈·점착력·Grid 패턴 등 고객 요구에 맞춘 맞춤 제작이 가능합니다.맞춤 제작 문의 표면 입자 샘플링 필름
평평한 표면 위의 5~5000μm 입자를 채취하여 JEDEX 입자계수기, Microscope, SEM/EDS, LIBs, FTIR 등으로 분석하는 필름입니다.
반도체 FAB PM 전용DD FAB-200HR100매/pack
반도체 FAB 장치의 PM(Preventive Maintenance) 전용 모델입니다. Yellow Handle이 적용되어 니트릴 글러브 착용 상태에서 사용이 용이하며, 낙하 시 쉽게 찾을 수 있는 고시인성 디자인입니다. SEM/EDS 분석, Microscope 관찰, LIBs·FTIR 등 다양한 분석장비의 시료 채취에 사용됩니다.





용도

JEDEX S-Series 입자계수기를 위한 입자 채취
SEM/EDS 분석용 시료 채취
반도체 FAB PM 표면 검출
Microscope 관찰 (저배율/고배율)
LIBs, FTIR 분석장비 시료 채취



사양분리력표준강도 (5μm Controlled)입자5μm샘플링70×25mm (Grid 영역 5mm)사이즈120×30mm (Handle 15mm + Cover 25mm)레이어3 (Peel Off for Sampling / Film / Peel Off Cover)GridOrange Grid, 1000μmHandleYellow (니트릴 글러브 호환)
적용 계수기S6S5S3SProSA3SA5
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초고청정 · 무점착 · 1μmDX-600LP100매/packNEW — DX Series점착제를 사용하지 않고 필름 자체의 탄성을 이용하여 입자를 채취하는 초고청정(Ultra-Clean) 필름입니다. 점착제 사용이 불가한 초고청정 환경에서 사용할 수 있으며, ASML 스테퍼 등 반도체 FAB의 초고청정 요구 장치의 PM 샘플링에 적용됩니다. 1μm Controlled Film으로 미세 입자까지 정밀하게 채취합니다.





용도

JEDEX S-Series 입자계수기를 위한 입자 채취
ASML 스테퍼 등 초고청정 요구 장치 PM 샘플링
점착제 사용 불가 환경의 표면 입자 채취
SEM/EDS 분석용 초고청정 시료 채취
반도체 FAB 초고청정 공정 표면 검출



사양입자제어1μm Controlled채취방식무점착 — 필름 탄성 이용청정도초고청정 (Ultra-Clean)샘플링70×25mm (Grid 영역 5mm)사이즈120×30mm (Handle 15mm + Cover 25mm)레이어3 LayersGridGrid, 1000μm
적용 계수기S6S5S3SProSA3SA5DX Series 특징: 점착제 미사용으로 잔류 오염 제로. 필름 자체 탄성으로 입자를 채취하여 초고청정 환경에 최적화.
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DD-200HR100매/pack
가장 범용적인 표면 입자 샘플링 필름입니다. Microscope 저배율·고배율 관찰, SEM/EDS(Hitachi, JEOL 등), LIBs, FTIR 등 분석장비에서 시료를 채취·분석하는 일반 용도로 사용됩니다.





용도

JEDEX S-Series 입자계수기를 위한 입자 채취
Microscope 관찰 (저배율/고배율)
SEM/EDS 분석 (Hitachi, JEOL 등)
일반 표면 파티클 샘플링



사양분리력표준강도입자5μm영역20×50mm사이즈90×30mm, 3 LayersGridGreen 1000μm (Peel Off)
적용 계수기S6S5S3SProSA3SA5
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DD-500HR100매/pack
좁은 부분의 표면 입자를 채취하기 위한 소면적 전용 모델입니다. 정밀 부품의 틈새, 작은 면적의 표면에서 파티클을 채취합니다.





용도

JEDEX S-Series 입자계수기를 위한 입자 채취
좁은 부분 표면 입자 시료 채취
Microscope/SEM/EDS 소면적 분석



사양분리력표준강도입자5μm영역10×10, 10×20mm사이즈90×30mm, 3 LayersGridGreen 1000μm
적용 계수기S6S5S3SProSA3SA5
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DD-200H100매/pack
HR 시리즈 대비 강력한 분리력. 접착력이 강한 표면에 고착된 입자를 채취합니다.





용도

JEDEX S-Series 입자계수기를 위한 입자 채취
고착성 입자 시료 채취 (강력 분리력)
Microscope/SEM/EDS 분석용



사양분리력강력입자5μm영역20×50mm사이즈90×30mm, 3 LayersGridGreen 1000μm (Base)
적용 계수기S6S5S3SProSA3SA5
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DD-500H100매/pack
좁은 부분에서 고착성 입자를 채취하기 위한 강력 분리력 소면적 모델입니다.





용도

JEDEX S-Series 입자계수기를 위한 입자 채취
좁은 부분 고착성 입자 시료 채취
강력 분리력 소면적 분석



사양분리력강력입자5μm영역20×30mm사이즈90×30mm, 3 LayersGridGreen 1000μm (Base)
적용 계수기S6S5S3SProSA3SA5
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DD-100100매/pack
Microscope 검사 시 격자(Grid Cell) 기반 분석에 최적화. 500μm 고밀도 Grid로 정밀 위치 파악 및 반복 관찰이 가능합니다.





용도

JEDEX S-Series 입자계수기를 위한 입자 채취
Microscope 격자(Grid Cell) 분석
500μm Grid 정밀 위치 파악
SEM/EDS 시료 채취



사양분리력표준강도입자5μm영역20×50mm사이즈90×30mm, 3 LayersGridGreen 500μm 고밀도 (Base)
적용 계수기S5S3SProSA3SA5
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DD-400100매/pack
초고강도 분리력으로 Particle 제거와 샘플링을 동시에 수행하는 겸용 모델입니다. 클리닝과 분석을 한 번에 처리합니다.





용도

JEDEX S-Series 입자계수기를 위한 입자 채취
Particle 제거 겸용 (초고강도)
장비 클리닝 + 입자 분석 동시
Microscope/SEM/EDS 분석 겸용



사양분리력초고강도입자5μm영역20×50mm사이즈90×30mm, 3 LayersGridRed 1000μm (Base)
적용 계수기S6S5S3SProSA3SA5
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DD BLACK100매/pack
블랙 컬러 필름으로 밝은 색상의 입자 시인성을 극대화합니다. 블랙 근접 입자는 계수에서 제외됩니다.





용도

JEDEX S-Series 입자계수기를 위한 입자 채취
블랙/근접 입자 계수 제외 시
밝은 색상 입자 관찰
Microscope/SEM/EDS 분석용



사양분리력표준강도입자5μm영역20×50mm사이즈90×30mm, 3 Layers
적용 계수기S6S5S3SProSA3SA5
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 낙하 입자 샘플링
챔버, 오븐, 플라즈마 등 밀폐 공간에서 낙하하는 입자를 수집하기 위한 글라스·실리콘 웨이퍼입니다.
글라스 웨이퍼별도 문의
챔버, 고온, 플라즈마, 액체 세척 욕조 등 밀폐 공간 입자 수집. 내열성·내화학성 우수. 출하 전 입자 수 보장.





용도

JEDEX S-Series 입자계수기를 위한 입자 채취
챔버/고온/플라즈마 환경 입자 수집
반도체/디스플레이 공정 모니터링



사양사이즈2~8인치 (100~200mm)입자보증출하 전 보장
적용 계수기S6S3SA5SA3S300SPro
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실리콘 웨이퍼별도 문의
실제 공정 웨이퍼와 동일 소재. 밀폐 환경에서 실제 공정 조건을 시뮬레이션합니다. 출하 전 입자 수 보장.





용도

JEDEX S-Series 입자계수기를 위한 입자 채취
챔버/고온/플라즈마 환경 입자 수집
실제 공정 환경 시뮬레이션



사양사이즈2~8인치 (100~300mm)입자보증출하 전 보장
적용 계수기S6SA5SA3S300
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 대면적 입자 샘플링
넓은 범위의 표면, 낙하 입자 및 공기 중 이동 입자를 채취하기 위한 광폭 대면적 전용 필름입니다.
DD-2215H50매/pack
100×150mm 대면적 샘플링 영역의 광폭 필름. 클린룸·클린벤치 환경 모니터링에 최적화. 초고강도 점착력으로 미세 입자까지 확실하게 포집합니다.





용도

JEDEX S-Series 입자계수기를 위한 입자 채취
표면, 넓은 범위 낙하 입자 채취 (대면적)
공기 중 이동 입자 채취
클린룸/클린벤치 모니터링



사양분리력초고강도영역100×150mm사이즈212×104mm, 3 LayersGridGreen 1000μm (Base)
적용 계수기S6 (Outer Head)SMD150SA3005S350LA
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 이동체 부착형 샘플링
이동 로봇, 매거진, 파츠에 부착하여 통과 영역에서 부착된 입자를 검출합니다.
DD-AIR 707550매/pack
이동 로봇, 매거진, 파츠에 부착하여 통과 영역에서 부착된 입자를 검출. Attaching Cover 포함 4-Layer 구조입니다.





용도

JEDEX S-Series 입자계수기를 위한 입자 채취
이동 로봇/매거진/파츠에 부착
통과 영역 부착 입자 검출



사양분리력표준강도입자5μm영역50×50mm레이어4 (Attaching Cover 포함)
적용 계수기SProSA3
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표면 입자 수집 및 입자 계수 절차평평한 표면 위의 5 ~ 5000μm 입자 | 특허 등록 구조


1


필름 준비
검출하려는 표면의 크기에 맞는 입자 수집 필름을 준비합니다.
2


입자 채취
필름의 접착면을 검사 대상 표면에 놓고 샘플링 스틱으로 눌러 입자를 옮깁니다.
3


포장·이동
보호면을 다시 부착, 포장 상자에 넣고 카운터가 있는 위치로 이동합니다.
4


장치 로드
필름을 S-Series 장치의 로딩 고정 장치에 로드합니다.
5


검출·계수
입자 검출 및 계수가 자동으로 진행됩니다.

B2B 대량 주문 · 맞춤 제작 견적
수량에 따라 별도 가격이 적용됩니다. 주문 생산도 가능합니다.견적 문의하기특허: 한국 10-1582461 / 미국 9,964,480 / 일본 6337388 / EU 3211397 / 중국 ZL2015800572836 / 베트남 29661

관련 국제규격 

SEMI E195-0925 - Test Method Using Adhesive Replacement Substrates to Assess Particulate Surface Contamination on Critical Chamber Components


ASTM E1216-21 – Standard Practice for Sampling for Particulate Contamination by Tape Lift


ISO 14644-17:2021 - Particle deposition rate applications

ISO 14644-9:2022 - Assessment of surface cleanliness for particle concentration


IEST STD-CC1246E - Product Cleanliness Levels - Applications, Requirements, and Determination

IEST-RP-CC005: Gloves and Finger Cots Used in Cleanrooms and Other Controlled Environments



문의: info@jedex.com | 전상희 팀장 | 070-8233-7766
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