- SPro 자동스캔
- SPro 시리즈 표면입자계수기 중형 크기 시료용 ( 최대 100x100mm)
SPro3시리즈는
글라스(Glass) 투명 또는 반투명 필름 류(OCA필름, 편광필름 등)의 표면 및 내층에 존재하는 이물 및 Particle을 검출하고 계수하는 장치입니다.
이 장치는 ㈜제덱스가 개발한 특허 등록된 신개념 검출기술들을 적용하여 입자의 검출성능이 뛰어나며 검출속도가 매우 빠릅니다.
- 모델명 / 검출 한계(um)
SPro305 : 5 ~ 5000
이 장치는 ㈜제덱스가 개발한 특허 등록된 신개념 검출기술들을 적용하여 입자의 검출성능이 뛰어나며 검출속도가 매우 빠릅니다.
- 모델명 / 검출 한계(um)
SPro305 : 5 ~ 5000
검사자의 편의를 극대화
제어는 컴퓨터로 제어되며 다양한 시료를 평가하고 사용자가 요구하는 다양한 요구에 대응할 수 있도록 시험의 Step 별 조건을 지정할 수 있는 레시피를 작성하여 사용할 수 있으며
이에 따라 시험이 가능한 시료는 Sticky Films, OCA Films, Polarizing Films, Optical Films, Glasses (Circle wafers, plates) 등이며 시료의 형태 및 크기에 따라 추가 또는 축소될 수 있습니다.
이에 따라 시험이 가능한 시료는 Sticky Films, OCA Films, Polarizing Films, Optical Films, Glasses (Circle wafers, plates) 등이며 시료의 형태 및 크기에 따라 추가 또는 축소될 수 있습니다.
SPro3 Surface Particle Counters –Technical Specification
.Smart Focusing
Counting Channels: Adjustable by system set file
Dimension (mm) ;441(w)x 900(d) x630(h)
Weight; 35kg (main body)
Operating Temperature
20 ~ 30 Degree C (20 ~ 25 Degree C recommended)
Operating Humidity
30 ~ 60 % RH (40 ~ 55 % RH recommended)
Counting Software
ParticlePro®
Accessories
Sample Holder for DD200HR, DD500HR Films(30x70mm) - Loading: 3 Films/Load
Sample Holders for 2inch(50mm) circle wafers
Sample Holders for 4inch(100mm) circle wafers
Warranty
1 Year from outgoing date
..
SEMI E195-0925 - Test Method Using Adhesive Replacement Substrates to Assess Particulate Surface Contamination on Critical Chamber Components
ASTM E1216-21 – Standard Practice for Sampling for Particulate Contamination by Tape Lift
ISO 14644-17:2021 - Particle deposition rate applications
ISO 14644-9:2022 - Assessment of surface cleanliness for particle concentration
IEST STD-CC1246E - Product Cleanliness Levels - Applications, Requirements, and Determination
IEST-RP-CC005: Gloves and Finger Cots Used in Cleanrooms and Other Controlled Environments
Counting Channels: Adjustable by system set file
Dimension (mm) ;441(w)x 900(d) x630(h)
Weight; 35kg (main body)
Operating Temperature
20 ~ 30 Degree C (20 ~ 25 Degree C recommended)
Operating Humidity
30 ~ 60 % RH (40 ~ 55 % RH recommended)
Counting Software
ParticlePro®
Accessories
Sample Holder for DD200HR, DD500HR Films(30x70mm) - Loading: 3 Films/Load
Sample Holders for 2inch(50mm) circle wafers
Sample Holders for 4inch(100mm) circle wafers
Warranty
1 Year from outgoing date
..
SEMI E195-0925 - Test Method Using Adhesive Replacement Substrates to Assess Particulate Surface Contamination on Critical Chamber Components
ASTM E1216-21 – Standard Practice for Sampling for Particulate Contamination by Tape Lift
ISO 14644-17:2021 - Particle deposition rate applications
ISO 14644-9:2022 - Assessment of surface cleanliness for particle concentration
IEST STD-CC1246E - Product Cleanliness Levels - Applications, Requirements, and Determination
IEST-RP-CC005: Gloves and Finger Cots Used in Cleanrooms and Other Controlled Environments
