- Symm 9-AS
- Surface particle removal system
장비 개요
Symm9-AS 는 강력한 Gas (Air)
Jet 를 제품표면, 제품의 홈, 제품의 홀 면에 분사하여 강력한 제거 성능으로 Particle을 제거하며 Cleaning 과정에서 제품표면으로 분리된
입자를 검출하는 장비입니다.
Particle Counter 를 연결시
Cleaning의 정도를 파악하면서
cleaning을
할 수 있어 정확한 cleaning 이 가능합니다.
Symm9-AS 응용 분야
l 제조 장치 및 검사 장치용 부품
l 제조 장치 및 검사 장치의 챔버 및 제품 접촉부의 표면
l 각종 배기구 및 덕트 내면 Cleaning 및
이물제거
l 제조장치 PM시의 표면 최종 Cleaning
l 고청정용 개스 배관의 내외면 (1/4 inch 직경
이상 ) 최종 Cleaning
l 반도체 제조용 캐리어, FOUP 내측의 Cleaning
l 디스플레이 제조용 기판의 보호 필름
l 각종 포장재의 내면 과 표면
l 반도체 칩(Chip)트레이를 포함한 트레이
류
l 반도체 메모리 모듈(Memory Module) 트레이
l 각종 지그류
l 크린룸 입실시의 방진의류 (방진복 소매 등)
l 작업중의 크린룸 장갑
l 방진화 바닥
l 각종 배관재 내 외면
이외에도 다양한 산업 분야에 적용할 수 있습니다.
시험 기법과 원리
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SymmGun은 Cleaning 대상 면 과 일정한 거리(10mm 이내, 5mm 이내 권장) 를 두고 대칭 노즐 (Symmetrical Jet Nozzle )에서 분사된 강력한 Gas가 표면 과 홈 등에 존재하는 Particle 과 각종 이물을 분리하여 중앙으로 집중시키면 중앙의 방향 유도 노즐에서 Gas를 분사하여 배출구 측으로 배출합니다. Gas 분사에 따라 주변의 압력이 낮아져 스스로 진공을 만들어내는 효과 와 대칭 노즐의 분사 방향에 의해서 생성되는 진공발생의 효과로 주변의 Particle도 집진 하는 효과가 발생합니다
결과적으로 강력 Jet Clean 효과가 있으면서 Cleaning 결과 분리된 Particle 이 주변에 확산되지않습니다.
