표면에 붙은 파티클을, 붙였다 떼는 것만으로 수치화합니다.

S505는 제덱스의 주력 표면 파티클 카운터입니다. 부품·장비·지그·부자재·의류 등 다양한 표면의 파티클을 점착 필름으로 채취한 뒤, 5 ~ 5,000 µm 범위에서 크기별 개수를 측정합니다. SEMI E195 Adhesive Substrate Method에 준거합니다.

기존 측정 방식과의 차이

측정 원리

1. 점착 필름을 측정할 표면에 붙였다 떼어 파티클을 옮깁니다.
2. 커버를 덮어 밀봉합니다. 외부 오염 없이 보관·운반할 수 있습니다.
3. 필름을 S505에 넣으면 광학 스캔으로 크기별 개수를 계수합니다.
4. 같은 필름을 SEM-EDS(무기물) · FTIR(유기물) 성분 분석에 그대로 쓸 수 있습니다.

특징

• 어떤 표면이든 — 곡면이나 엠보싱 표면은 소형 필름을 여러 장 쓰거나 유연한 엘라스토머 필름을 맞춤 제작해 대응합니다.
• 계수부터 성분 분석까지 — 계수에 쓴 필름을 그대로 SEM-EDS · FTIR 분석에 사용해, 한 번의 채취로 개수와 오염원 추적을 연결합니다.
• 오염 없이 보관 · 운반 — 채취한 필름은 커버로 밀봉해 현장에서 실험실까지 외부 오염 없이 옮길 수 있습니다.

적용 분야

• 생산 라인 표준 점검 — 부품·지그·장비 표면의 일상 청정도 관리
• 수입·출하 검사 — 입고 부품과 출하 제품의 표면 파티클 확인
• 세정 전후 비교 — 세정업체·로트별 청정도 정량 비교
• 반도체 장비 부품 — DD Film과 함께 챔버 부품 표면 입자 평가 (SEMI E195)

사양

자주 묻는 질문

Q. 교정은 얼마나 자주 받아야 하나요?

연 1회 교정을 권장합니다. 교정 후에는 교정성적서와 교정 스티커를 발행합니다.

Q. 매일 해야 하는 점검이 있나요?

매일 계수 전에 Background Test(필름 없이 홀더만 넣고 장비 잡음 확인)와 Optic Test(체크 패턴으로 광학계 광레벨 확인)를 권장합니다. 두 점검은 교정을 대신하지 않습니다.