ShowerHead/ Cathod 의 Particle 검사 및 장비 장착전 전세정 장치 0.1 um 이상 Particle
Monaco 2000 [10 nm 감도]
ShowerHead/ Cathod 의 Particle 검사 및 장비 장착전 전세정 장치 0.1 um 이상 Particle, ESC Hole 및 표면입자검사 및 크리닝
Visual Particle Counters
표면 입자 계수기
전용 필름을 이용한 입자 계수기 Tray, Bag, 부품,지그 등의 입자관리에 유용
다용도 입자 계수기
Membrane Filter를 이용한 액체, 기체중 입자의 계수 (VDA-19, ISO-16232 규격 대응)
외장 센서형 입자계수기
다양한 표면에 존재하는 입자를 직접 계수
외장 센서형 입자계수기
필름류, 유리의 표면에 존재하는 입자를 직접 계수
Particle Testers for Cleanroom Materials / Consumables
T 시리즈
청정용품, 크린룸용 자재 류 전반적의 품질관리 각종 크린룸용 자재, 소모품 및 공정 소모품의 입자오염도 평가
수입검사 / 품질인증 /제품개발/공정관리 /와이퍼, 각종 크린룸용 청정용품 및 부자재, 포장재의 Particle 검출 및 시험 평가장치
Smart Cleaning Units
Smart Cleaning Units
Particle Pro : Cleaning 과 Particle Countiing을 동시에 할 수 있습니다.
SymmGun : 간편하게 Cleaning이 가능합니다. SCU : Smart Cleaning Units 장치 또는 공정의 스마트팩토리 구현을 위한 Cleaning Units을 제공합니다.
