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Products

Monaco 2000 I
Features / Benefits
  • 반도체 제조장치용 Parts 입자 검사 / 크리닝 복합 장치
    -> Hole 형성 부품 (Shower Head, Cathode, ESC(Rev10))등)
  • 백그라운드 입자 레벨을 Zero 근접을 실현.
  • 가압분사 모드 / 흡입모드 / 조합모드 등 유체 흐름 변경용이
  • 컴퓨터 레시피 적용으로 시료별 조건 설정 및 적용 용이
  • Auto Loading / Unloading / Nozzle Height 조절
    *상기 사양 및 제품 이미지는 개선을 위하여 사전 예고없이 변경될 수 있습니다.
Applications- 대상시료
  1. Showerhead Hole 및 표면입자 검사
  2. Cathod Hole 및 표면입자 검사
  3. ESC Hole 및 표면입자 검사
Applications - 분야 / 기업
  1. 반도체 소자사 : 부품의 장치 장착전 검사
  2. 반도체 장비 부품사 : 수입검사 / 출하검사/ 건식 크리닝
  3. 부품세정 : 세정 전 후 검사 / 공정 중 검사 / 출하검사 / 건식크리닝
    *특허등록(1014832240000)
Basic Specifications
  1. Sensitivity : 0.1 um 이상 Particle 검출
  2. Power : 220 v (50 Hz, 60 Hz) 15 A ( 단상 )
  3. Utility Gas : N2 (1/4”), Compressed Air (Filtered 1/4”)
  4. Chamber : Class 1 Background level
  5. Particle Sensor : 0.1 um (Particle Sensor 내장)
  6. Dimension :Main Body : 1560mm (w) x 1200mm(d) x 1700 mm(h) 350kg

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