8S5 시리즈는 입자의 채취를  채취성능이 뛰어나고 정교한 제어가 가능한 자사 개발  입자채취용 필름( DD 시리즈 등) 을 이용하여 입자를 계수하는 장치 입니다.


이 장치는 ㈜제덱스가 개발한 특허 등록된 신개념 검출 기술들을 적용하여 입자의 검출 성능이 뛰어나며 검출 속도가 매우 빠릅니다. 


S5 시리즈는 공정 중 Particle 검출 및 관리 / 수입검사 / 출하검사 / 신제품 개발 등 다양한 업무에 적용될 수 있습니다. 


SEMI E195-0925 - Test Method Using Adhesive Replacement Substrates to Assess Particulate Surface Contamination on Critical Chamber Components


ASTM E1216-21 – Standard Practice for Sampling for Particulate Contamination by Tape Lift


ISO 14644-17:2021 - Particle deposition rate applications

ISO 14644-9:2022 - Assessment of surface cleanliness for particle concentration


IEST STD-CC1246E - Product Cleanliness Levels - Applications, Requirements, and Determination

IEST-RP-CC005: Gloves and Finger Cots Used in Cleanrooms and Other Controlled Environments